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半導體超潔淨解決方案

半導體超潔淨解決方案

  • 發布時間:2021-08-27

【概要描述】随着半導體芯片關鍵線寬尺寸縮減,從早期的微米(μm)級别發展到現今的納米(nm)級别,芯片制造對潔淨度的要求越來越高。如果生産過程中空氣潔淨程度達不到要求,産品良率會受到很大影響。集成電路産業鍊幾乎所有的主要環節,從單晶矽片制造、到IC 制造及封裝,都需要在潔淨室中完成,且對于潔淨度的要求非常高。為了維持潔淨室的潔淨度,半導體潔淨廠房通常采用垂直單向流的方式,通過推出作用将室内污染的空氣排至室外,從而達到淨化室内空氣的目的。美埃作為國内大型芯片和液晶面闆廠家的重要供應商,為這些行業提供符合潔淨要求、高效率、低耗能、低噪音的空氣淨化産品。

  除了在半導體或液晶面闆廠房的天花闆上大面積使用FFU來達到垂直單向流以外,在各别區域的機台端還需要通過搭建微環境或機台端安裝EFU的方式來嚴格管控機台區域的潔淨度,以滿足機台設備更加嚴格的控制标準。

  另外,随着制程工藝的不斷改進叠代,單靠控制顆粒物已無法再提高良率,氣态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。

 


半導體超潔淨解決方案

【概要描述】随着半導體芯片關鍵線寬尺寸縮減,從早期的微米(μm)級别發展到現今的納米(nm)級别,芯片制造對潔淨度的要求越來越高。如果生産過程中空氣潔淨程度達不到要求,産品良率會受到很大影響。集成電路産業鍊幾乎所有的主要環節,從單晶矽片制造、到IC 制造及封裝,都需要在潔淨室中完成,且對于潔淨度的要求非常高。為了維持潔淨室的潔淨度,半導體潔淨廠房通常采用垂直單向流的方式,通過推出作用将室内污染的空氣排至室外,從而達到淨化室内空氣的目的。美埃作為國内大型芯片和液晶面闆廠家的重要供應商,為這些行業提供符合潔淨要求、高效率、低耗能、低噪音的空氣淨化産品。

  除了在半導體或液晶面闆廠房的天花闆上大面積使用FFU來達到垂直單向流以外,在各别區域的機台端還需要通過搭建微環境或機台端安裝EFU的方式來嚴格管控機台區域的潔淨度,以滿足機台設備更加嚴格的控制标準。

  另外,随着制程工藝的不斷改進叠代,單靠控制顆粒物已無法再提高良率,氣态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。

 


  • 分類:解決方案
  • 作者:
  • 來源:
  • 發布時間:2021-08-27 18:11
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1111 半導體超潔淨解決方案

 

  随着半導體芯片關鍵線寬尺寸縮減,從早期的微米(μm)級别發展到現今的納米(nm)級别,芯片制造對潔淨度的要求越來越高。如果生産過程中空氣潔淨程度達不到要求,産品良率會受到很大影響。集成電路産業鍊幾乎所有的主要環節,從單晶矽片制造、到IC 制造及封裝,都需要在潔淨室中完成,且對于潔淨度的要求非常高。為了維持潔淨室的潔淨度,半導體潔淨廠房通常采用垂直單向流的方式,通過推出作用将室内污染的空氣排至室外,從而達到淨化室内空氣的目的。美埃作為國内大型芯片和液晶面闆廠家的重要供應商,為這些行業提供符合潔淨要求、高效率、低耗能、低噪音的空氣淨化産品。

  除了在半導體或液晶面闆廠房的天花闆上大面積使用FFU來達到垂直單向流以外,在個别區域的機台端還需要通過搭建微環境或機台端安裝EFU的方式來嚴格管控機台區域的潔淨度,以滿足機台設備更加嚴格的控制标準。

  另外,随着制程工藝的不斷改進叠代,單靠控制顆粒物已無法再提高良率,氣态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。

 

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半導體超潔淨解決方案
随着半導體芯片關鍵線寬尺寸縮減,從早期的微米(μm)級别發展到現今的納米(nm)級别,芯片制造對潔淨度的要求越來越高。如果生産過程中空氣潔淨程度達不到要求,産品良率會受到很大影響。集成電路産業鍊幾乎所有的主要環節,從單晶矽片制造、到IC 制造及封裝,都需要在潔淨室中完成,且對于潔淨度的要求非常高。為了維持潔淨室的潔淨度,半導體潔淨廠房通常采用垂直單向流的方式,通過推出作用将室内污染的空氣排至室外,從而達到淨化室内空氣的目的。美埃作為國内大型芯片和液晶面闆廠家的重要供應商,為這些行業提供符合潔淨要求、高效率、低耗能、低噪音的空氣淨化産品。   除了在半導體或液晶面闆廠房的天花闆上大面積使用FFU來達到垂直單向流以外,在各别區域的機台端還需要通過搭建微環境或機台端安裝EFU的方式來嚴格管控機台區域的潔淨度,以滿足機台設備更加嚴格的控制标準。   另外,随着制程工藝的不斷改進叠代,單靠控制顆粒物已無法再提高良率,氣态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。  
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生物潔淨室與生物安全防護解決方案
  在生物醫藥行業,通過使用公司生産的各級别過濾器,使環境免受顆粒物及微生物的污染,并達到 GMP 規範要求的空氣潔淨度。公司為潔淨室内部的局部區域提供微環境超潔淨解決方案,包含超薄型設備端自帶風機過濾機組(EFU), 将大環境與局部高級别小環境的潔淨度控制有效結合。此外,公司生産的稱量罩、 層流罩、BIBO 系統等空氣淨化設備,為制藥行業在生産過程中維持空氣潔淨度、 提高産品良率、實現無污染排放等均起到重要的保障作用。
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醫療健康解決方案
  大健康是一個大的概念,它圍繞着人的吃、穿、行以及人的生老病死,是在對生命全過程全面呵護的理念指導下提出來的,發展和建立大健康産業社會工程的最終目的就是要讓人們‘生得優、活得長、病得晚、走得安。十四五規劃提出“全面推進健康中國建設,實施積極應對人口老齡化國家戰略”,大健康産業也進入全民需求時代,迎來一輪大發展。   美埃提供符合醫院建築設計規範的整體系統解決方案,從進氣到排氣,擁有适用于手術室、ICU等潔淨區域的超潔淨技術,适用于術後及傳感病房等的負壓隔離技術,适用于公共區域等防疫常态化需求的殺菌消毒技術。美埃研發生産的各種介質過濾器、靜電過濾器,其設備和系統模塊可以有效去除空氣中的顆粒物以及微生物,達到殺菌消毒、淨化空氣的雙重潔淨效果,保障醫院等相關機構室内空氣安全。
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工業廢氣排放治理解決方案
  在工業生産過程中産生的粉塵、油霧和有機廢氣等大氣污染物質,若沒有得到有效的處理,将會污染大氣環境危害人類健康。   針對不同工況的廢氣污染源,美埃提供系統解決方案,包括粉塵治理系統,油霧淨化系統及VOCs有機廢氣治理系統。
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腐蝕控制解決方案
  随着信息技術在企業中的普及、應用和深化,電子元器件也随着集成化、小型化,極微量的腐蝕氣體都可能對電子元器件的性能産生嚴重的影響,使得電子元器件失效。若因金屬腐蝕使得電器元器件失效在紙漿廠、化工廠、油氣行業中的中央控制室,除了縮短設備的使用壽命造成的額外損失以外,其引起停産停電等間接損失更加無法估量。   另外,若腐蝕發生在企業的數據中心或機房中,服務器内的電子元器件失靈造成企業的IT系統宕機,其後果也不堪設想。而近期因全球“碳中和”行動而興起的光伏産業裡,有越來越多的光伏生産企業也意識到了腐蝕控制的重要性,通過引入美埃的腐蝕控制方案使得其光伏闆産品的良率大大提升。綜上所述,腐蝕問題可發生在各行各業,通過引入美埃腐蝕控制方案,可讓客戶的環境得到充分控制,使得腐蝕問題不再是影響設備可靠性的因素同時也可以助力企業提高産品良率。
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塗裝行業解決方案
  高質量的表面噴塗工藝對于噴漆室内部的顆粒物數量有着嚴格的控制标準,尤其整車廠的車身噴塗,當室内環境産生大于10um的顆粒物時就會在最終的車身表面産生肉眼可見的明顯缺陷,部分要求嚴格的區域,對于5um以上的顆粒都有着嚴格的要求。美埃可根據不同的使用區域和使用要求給出最優的産品組合方案,為您保障生産安全的同時,降低能耗、保障人身的健康。可根據不同的汽車噴塗工藝段的需求,為客戶提供更優的解決方案,使用完全滿足汽車噴塗行業要求的過濾相關産品。
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室内空氣品質解決方案
美埃可以根據客戶需求推薦并提供合适的室内空氣淨化産品和技術方案,使室内空氣質量大幅改善。   該領域主要涉及高壓靜電吸附技術、介質過濾技術、“電袋合 一”技術公司生産的各級空氣過濾器、空氣淨化設備等産品,可去除空氣中的顆粒物(如PM2.5等)、氣态污染物(如甲醛、化學氣态污染物等)并具有抑菌、殺菌作用,有效維護室内人員的健康。   涵蓋解決方案:商用建築、校園、酒店、民用淨化、軌道交通淨化解決方案          
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餐飲油煙淨化解決方案
  高效治理餐飲油煙排放污染美埃自主研發的餐飲油煙淨化系統,可根據客戶需求定制化,由高效除油煙及顆粒物淨化系統、揮發性有機化合物(VOCs)及非甲烷總烴淨化系統、物聯網在線監控系統、自動清洗系統等組合配置而成。該系統不僅能達到國家和相關地方城市标準,且能幫助當地政府消除油煙擾民問題。
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