近日，華虹半導體有限公司(以下簡稱“華虹半導體”)正式在科創闆挂牌上市。根據 IC Insights 發布2021年度全球晶圓代工企業的營業收入排名數據，華虹半導體位居第六位，也是中國大陸最大的專注特色工藝的晶圓代工企業。作為華虹半導體的“老朋友”，多年來，美埃科技很榮幸為華虹半導體尖端制程環境保駕護航。

　　華虹半導體在半導體制造領域擁有超過25年的技術積累，長期堅持自主創新，不斷研發并掌握了特色工藝的關鍵核心技術。華虹半導體不靠制程取勝，而是專注于成熟制程領域的特色工藝。華虹半導體所走的特色工藝模式，則是不完全依賴晶體管尺寸的縮小，而是通過優化結構與制造工藝，更大程度地發揮不同器件的物理特性，聚焦産品性能及可靠性。

　　随着半導體制程技術的飛速發展，芯片線寬已經進入納米級，相應的産品對半導體産品生産環境的要求也越來越高，因此半導體淨化工程潔淨室内系統的運行狀态對矽芯片品質和通過率的影響舉足輕重。

　　且半導體制程複雜，對氣态分子污染物(AMC)敏感的區域比較多，而AMC會危害生産工藝關鍵環節，造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低，因此，AMC的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。

　　美埃科技深耕布局半導體賽道二十餘年，為華虹半導體生産車間提供尖端制程解決方案，助力打造精準化、低能耗的半導體潔淨室，以滿足行業對技術革新的需求，不斷提高産品良率。

　　美埃科技為華虹半導體提供的潔淨産品分别為：風機過濾單元(FFU)、設備端風機過濾單元(EFU)及化學過濾器。利用FFU獨立性的結構特點，可随時調整，彌補潔淨室機動性能不足，從而糾正了生産工藝不宜調整的缺點，且可以有效的節省空間，解決潔淨室吊頂頂端維修空間狹小的問題。更由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔淨廠房負壓。因此即使風口安裝存在洩漏，也是潔淨室向靜壓箱洩漏，不會形成對潔淨室的污染，使得密封變得很簡單而且安全。美埃科技FFU系統節能顯著，從而解決了空調機房龐大、空調機組運行費用增高的集中送風的缺點。

　　針對日益進步的半導體制程及工藝，AMC的數量及濃度均有數量級的增加，為了匹配更加嚴格且精确的控制要求，美埃科技提出化學過濾器覆蓋率預模拟及潔淨室濃度演算，精确控制潔淨室AMC濃度，并更大程度降低使用成本。同時在半導體潔淨室内AMC的濃度控制方面，實施了高效的測試及監控程序，結合有效的定期定點的AMC監測，通過分析化學過濾器前後濃度，确保化學過濾器的過濾性能穩定。

　　半導體産業是推動信息技術演進的基礎，是現代經濟社會發展的重要支撐。作為客戶的智囊團，美埃科技從産品研發到生産制造都遵循嚴格的标準，産品全生命周期的精益管理更是榮獲行業認可。在今後的路途中美埃科技将會把肯定化為動力，用不斷前行的姿态實現着“超越客戶預期”的目标。